Oリングの販売

<材質:フロロパワーFFN、FP-FFN、酸素プラズマ用FFKM>

フロロパワーFFNは、パーフロと呼ばれる高機能フッ素ゴム材質のノンフィラー(ノンカーボン・ノンメタル)+耐熱強化タイプに当たり、プラズマ環境で使用するOリングに重用されています。原材料のパーフロロエラストマー(FFKM)に由来する非常に優秀な耐薬品性を有し、耐熱性にも秀でています。一切の充填材を含まないことから低パーティクル性に大変優れ、極めて高いクリーン性が要求される半導体や液晶製造のドライプロセスに於いて、特に重要な役割を担っています。尚、比較的高価な材質であることから、酸素プラズマ用の下位互換材質として安価なフロロパワーAPRを検討することも、条件の緩い箇所では有効です。

  • パーフロ材質の中でも特に優れた耐プラズマ性を有しており、ドライエッチングやメタルCVDプロセスに適しています。

Oリング材質の耐性

名称(規格名や通称) フロロパワーFFN、FP-FFN、酸素プラズマ用FFKM
代表的な特性(優) 耐酸素プラズマ性、超耐薬品性、耐熱性
      (劣) 耐寒性、価格優位性(フロロパワーAPRとの比較)
使用温度範囲の目安 0〜300℃
含有物質等の法規制 環境負荷物質(RoHS指令10物質);閾値以下
REACH規制対象物質(SVHC物質);意図的添加なし

サイズ選定(規格の選択)

Oリングのサイズ選定は、規格の中から行うのが一般的です。以下から必要なサイズが含まれている規格を選択して下さい。尚、早見表は各規格に含まれるサイズの目安を知るのに便利です。縦軸の線径(Oリング断面の太さ)に対し、対応している内径の範囲を横軸で確認することが出来ます。その他、規格の詳細についてはOリング寸法の規格を参照して下さい。

P規格 G規格 V規格 S規格 AS568規格 AN6227規格 AN6230規格
M規格 GS規格 N規格 SS規格 JASO F404規格 KS規格 ISO規格
P規格
G規格
V規格
S規格
AS568規格


AS568規格
AN6227規格
AN6230規格
M規格
GS規格
N規格
SS規格
JASO_F404規格
KS規格
ISO規格

Oリング寸法規格の詳細