フロロパワーDEWは、ETPと呼ばれる高機能フッ素ゴムの白色タイプに当たり、プラズマ環境などで使用するOリングに用いられています。原材料のFFKM-Eに由来する非常に優れた耐薬品性により、強アルカリや強酸、極性溶剤などに対しても高い耐性を示します。パーフロ(FFKM)と比較すると全ての性能が劣りますが、価格を大幅に抑えることが出来るので、半導体や液晶製造のドライプロセスの中でも要求される性能が限定的で条件が厳しくない箇所で利用されています。
* | 名称(規格名や通称) | : | フロロパワーDEW、FP-DEW、バイトンETP白、白FFKM-E |
* | 代表的な特性(優) | : | 耐薬品性(強酸・強アルカリ・極性溶剤)、耐プラズマ性(ハロゲンラジカル) |
(劣) | : | 耐アミン系溶剤性、耐エーテル系溶剤性、耐寒性 | |
* | 使用温度範囲の目安 | : | 0〜180℃ |
* | 最高耐圧性能の目安 | : | 3MPa(バックアップリングなし) |
* | 含有物質等の法規制 | : | 環境負荷物質(RoHS指令10物質);閾値以下 REACH規制対象物質(SVHC物質);意図的添加なし TSCA PBT5物質(DecaBDE、2,4,6-TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP);意図的添加なし |
Oリングのサイズ選定は、規格の中から行うのが一般的です。以下から必要なサイズが含まれている規格を選択して下さい。尚、早見表は各規格に含まれるサイズの目安を知るのに便利です。縦軸の線径(Oリング断面の太さ)に対し、対応している内径の範囲を横軸で確認することが出来ます。その他、規格の詳細についてはOリング寸法の規格を参照して下さい。