フロロパワーFFDRは、O2ラジカルを含むプラズマ環境に向けて専用の設計が為されているFFKM材質の中でも下級グレードに位置し、主に液晶ディスプレイ製造のドライプロセスに於いて採用されています。同じく耐プラズマ性(O2ラジカルほか、フッ素ラジカルや塩素ラジカル、臭素ラジカルなどのハロゲンラジカルに対する耐性)を謳う上級グレードのフロロパワーFFTや中級グレードのフロロパワーFFRと並び、特に制御が難しいとされるO2ラジカルに起因する重量減少やパーティクル、クラックなどの発生を低減できる希少な材質です。
尚、パーフルオロエラストマー(FFKM)系の材質には様々な細分類が御座いますが、先述の通り、フロロパワーFFDRは半導体や液晶ディスプレイの製造といった電子産業に需要が集中するプラズマ専用の材質となります。他の用途での選定に当たっては、ご注意ください。
* | 名称(規格名や通称) | : | フロロパワーFFDR、FP-FFDR |
* | 代表的な特性(優) | : | 耐プラズマ性(酸素ラジカル/ハロゲンラジカル);下級 |
(劣) | : | 特殊用途向け | |
* | 使用温度範囲の目安 | : | 0〜230℃ |
* | 含有物質等の法規制 | : | 環境負荷物質(RoHS指令10物質);閾値以下 REACH規制対象物質(SVHC物質);意図的添加なし TSCA PBT5物質(DecaBDE、2,4,6TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP);意図的添加なし |
Oリングのサイズ選定は、規格の中から行うのが一般的です。以下から必要なサイズが含まれている規格を選択して下さい。尚、早見表は各規格に含まれるサイズの目安を知るのに便利です。縦軸の線径(Oリング断面の太さ)に対し、対応している内径の範囲を横軸で確認することが出来ます。その他、規格の詳細についてはOリング寸法の規格を参照して下さい。