Oリング フロロパワーFFN AN6230-42 <線径φ3.53mm × 内径φ190.09mm>

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材質「フロロパワーFFN」について

フロロパワーFFNは、パーフロと呼ばれる高機能フッ素ゴム材質のノンフィラー(ノンカーボン・ノンメタル)タイプに当たります。尚、半導体や液晶のドライプロセスに向けて設計された材質で、ハロゲンプラズマ(フッ素ラジカルや塩素ラジカル、臭素ラジカルなど)への耐性に優れますが、酸素プラズマにはフロロパワーFFTをはじめとする専用グレードが適しております。プラズマ環境下では微妙な相性によって寿命が大きく左右される場合があるので、必要に応じてはご相談ください。

Oリング材質の耐性

FFKM(プラズマ専用;上級)→Oリング フロロパワーFFT AN6230-42 <線径φ3.53mm × 内径φ190.09mm>
FFKM(プラズマ専用;中級)→Oリング フロロパワーFFR AN6230-42 <線径φ3.53mm × 内径φ190.09mm>
FFKM(プラズマ専用;下級)→Oリング フロロパワーFFDR AN6230-42 <線径φ3.53mm × 内径φ190.09mm>
FFKM(標準白色)→Oリング フロロパワーFFW AN6230-42 <線径φ3.53mm × 内径φ190.09mm>
FFKM(耐熱白色)→Oリング フロロパワーFFSW AN6230-42 <線径φ3.53mm × 内径φ190.09mm>
FEPM(耐熱白色)→Oリング フロロパワーAPHW AN6230-42 <線径φ3.53mm × 内径φ190.09mm>
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