Oリング フロロパワーFFN P-31 <線径φ3.5mm × 内径φ30.7mm>

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材質「フロロパワーFFN」について

フロロパワーFFNは、パーフロと呼ばれる高機能フッ素ゴム材質のノンフィラー(ノンカーボン・ノンメタル)タイプに当たります。尚、半導体や液晶のドライプロセスに向けて設計された材質で、ハロゲンプラズマ(フッ素ラジカルや塩素ラジカル、臭素ラジカルなど)への耐性に優れますが、酸素プラズマにはフロロパワーFFTをはじめとする専用グレードが適しております。プラズマ環境下では微妙な相性によって寿命が大きく左右される場合があるので、必要に応じてはご相談ください。

Oリング材質の耐性

FFKM(プラズマ専用;上級)→Oリング フロロパワーFFT P-31 <線径φ3.5mm × 内径φ30.7mm>
FFKM(プラズマ専用;中級)→Oリング フロロパワーFFR P-31 <線径φ3.5mm × 内径φ30.7mm>
FFKM(プラズマ専用;下級)→Oリング フロロパワーFFDR P-31 <線径φ3.5mm × 内径φ30.7mm>
FFKM(標準白色)→Oリング フロロパワーFFW P-31 <線径φ3.5mm × 内径φ30.7mm>
FFKM(耐熱白色)→Oリング フロロパワーFFSW P-31 <線径φ3.5mm × 内径φ30.7mm>
FEPM(耐熱白色)→Oリング フロロパワーAPHW P-31 <線径φ3.5mm × 内径φ30.7mm>
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