材質「フロロパワーDEW」について |
---|
フロロパワーDEWは、ETPと呼ばれる高機能フッ素ゴムの白色タイプに当たり、プラズマ環境などで使用するOリングに用いられています。原材料のFFKM-Eに由来する非常に優れた耐薬品性により、強アルカリや強酸、極性溶剤などに対しても高い耐性を示します。パーフロ(FFKM)と比較すると全ての性能が劣りますが、価格を大幅に抑えることが出来るので、半導体や液晶製造のドライプロセスの中でも要求される性能が限定的で条件が厳しくない箇所で利用されています。 |
FFKM(標準白色)→Oリング フロロパワーFFW AN6227-13 <線径φ2.62mm×内径φ17.12mm> FFKM(耐熱白色)→Oリング フロロパワーFFSW AN6227-13 <線径φ2.62mm×内径φ17.12mm> FEPM(耐熱白色)→Oリング フロロパワーAPHW AN6227-13 <線径φ2.62mm×内径φ17.12mm> FFKM(プラズマ専用;上級)→Oリング フロロパワーFFT AN6227-13 <線径φ2.62mm×内径φ17.12mm> FFKM(プラズマ専用;中級)→Oリング フロロパワーFFR AN6227-13 <線径φ2.62mm×内径φ17.12mm> FFKM(プラズマ専用;下級)→Oリング フロロパワーFFDR AN6227-13 <線径φ2.62mm×内径φ17.12mm> |