材質「フロロパワーFFSW」について | ||||||||||||||||||||||||||
概要 | フロロパワーFFSWは、パーフロと呼ばれる高機能フッ素ゴム材質の白色+耐熱強化タイプに当たり、主として半導体製造のエッチング装置、CVD、拡散装置に於ける高温やプラズマ(フッ素ラジカルや塩素ラジカル、臭素ラジカルといったハロゲンプラズマ)環境で使用するOリングに重用されています。黒色パーフロの耐熱強化タイプであるフロロパワーFFSと並んで上級グレードに位置する極めて優れた耐熱性(330℃クラス)を有し、原材料のパーフロロエラストマー(FFKM)に由来する非常に優秀な耐薬品性と相俟って、半導体や液晶などの電子産業に限らず幅広い分野で代替の無い突出した性能を発揮しています。また、一般的には物性面では劣ることの多いFFKM、しかもノンカーボンの白色材質でありながら、機械的強度も大変良好です。尚、先述の通りフロロパワーFFSWはハロゲンプラズマに適した材質ですが、酸素プラズマにはフロロパワーFFTをはじめとする専用グレードが推奨されます。ご注意ください。 FFKM(標準白色)→Oリング フロロパワーFFW P-63 <線径φ5.7mm × 内径φ62.6mm> FFKM(プラズマ専用;上級)→Oリング フロロパワーFFT P-63 <線径φ5.7mm × 内径φ62.6mm> FFKM(プラズマ専用;中級)→Oリング フロロパワーFFR P-63 <線径φ5.7mm × 内径φ62.6mm> FFKM(CS制御・耐熱)→Oリング フロロパワーFFCS P-63 <線径φ5.7mm × 内径φ62.6mm> | |||||||||||||||||||||||||
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物性 | 試験種類 | 項目 | 測定値 | |||||||||||||||||||||||
常態物性試験 | 硬さ(JIS-A) | 83 | ||||||||||||||||||||||||
引張強さ | 19.5MPa | |||||||||||||||||||||||||
伸び率 | 139% | |||||||||||||||||||||||||
100%引張応力 | 12.9MPa | |||||||||||||||||||||||||
耐熱老化試験 (200℃×70時間) | 硬さ変化 | 0 | ||||||||||||||||||||||||
引張強さ変化率 | 17% | |||||||||||||||||||||||||
伸び変化率 | -1% | |||||||||||||||||||||||||
圧縮永久歪み試験 (200℃×70時間) | 圧縮永久歪み率 | 13% |
サイズ「P-63」について | |||||||||||
概要 | *規 格:P規格(運動用・円筒面固定用・平面固定用/JIS B2401 P) *呼び番号:63 *呼び替え: | ||||||||||
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寸法 [mm] | Oリング | Oリング溝 | |||||||||
線径〔W〕 (基本公差) | 内径〔ID〕 (基本公差) | 外径〔OD〕 (基本公差) | d | D | 円筒面の dとDの 芯ずれ | G(+0.25/0) | H | R最大 | |||
BRなし | 片側BR | 両側BR | |||||||||
5.7 (±0.13) | 62.6 (±0.56) | 74.0 (±0.82) | 63.0 (0/-0.10) | 73.0 (+0.10/0) | <0.10 | 7.5 | 9.0 | 11.5 | 4.6 (±0.05) | 0.8 | |
![]() * 公差はNBR-70-1を基準にした基本値です。 材質の種類によって変動するのでご注意下さい。 | ![]() * 溝寸法は参考値です。 |
その他 |
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1個 |
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