Oリング フロロパワーFFT S-31.5 ＜線径φ2.0mm × 内径φ31.0mm＞

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Oリング フロロパワーFFT S-31.5の詳細

材質「フロロパワーFFT」について

概要

フロロパワーFFTは、O2ラジカルを含むプラズマ環境に向けて専用の設計が為されているFFKM材質の中でも上級グレードに位置し、主に半導体製造のドライプロセスに於ける最も過酷な環境で採用されています。ラジカル化したプロセスガス（O2ラジカル、並びにCF4、NF3、HBr、CL2、NH3、SiH4などによるハロゲンラジカル）に起因する重量減少やクラックを極めて高い水準で抑制し、半導体製造に於けるエッチング装置、CVD装置のチャンバーリッドや静電チャック、ハンドリングパッドといった箇所で、パーティクル発生源とならずに長期に亘って機能を維持することが出来ます。尚、フロロパワーFFTはプラズマ専用FFKMの中で上級グレードに位置付けられておりますが、ゲートバルブやアイソレーションバルブなどの動的な箇所には中級グレードのフロロパワーFFRの方が適していることがあります。ラジカルに係る重量減少のみを基軸に上級と中級にグレードを分けておりますが、それぞれが異なる特性を担っております旨も、お含みおき願います。また、パーフルオロエラストマー（FFKM）系統の材質には様々な細分類がラインナップされておりますが、その中でもフロロパワーFFTは半導体や液晶ディスプレイの製造といった電子産業に需要が集中する特定用途に特化したゴム材質となります。ご留意ください。

Oリング材質の耐性

FFKM（プラズマ専用；中級）→Oリング フロロパワーFFR S-31.5 ＜線径φ2.0mm × 内径φ31.0mm＞
FFKM（プラズマ専用；下級）→Oリング フロロパワーFFDR S-31.5 ＜線径φ2.0mm × 内径φ31.0mm＞
FFKM（標準白色）→Oリング フロロパワーFFW S-31.5 ＜線径φ2.0mm × 内径φ31.0mm＞
FFKM（耐熱白色）→Oリング フロロパワーFFSW S-31.5 ＜線径φ2.0mm × 内径φ31.0mm＞
FEPM（耐熱白色）→Oリング フロロパワーAPHW S-31.5 ＜線径φ2.0mm × 内径φ31.0mm＞
＊名称（規格名や通称）：フロロパワーFFT、FP-FFT
＊代表的な特性（優）：耐プラズマ性（酸素ラジカル／ハロゲンラジカル）；上級
＊　　　　　　（劣）：特定用途向け
＊使用温度範囲の目安：0〜260℃
＊含有物質等の法規制：環境負荷物質（RoHS指令10物質）；閾値以下
REACH規制対象物質（SVHC物質）；意図的添加なし
TSCA PBT5物質（DecaBDE、2,4,6-TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP）；意図的添加なし

サイズ「S-31.5」について

概要＊規　　格：Ｓ規格（円筒面固定用・平面固定用／省スペース）
＊呼び番号：３１．５
＊呼び替え：
寸法
[ｍｍ]		OリングOリング溝
線径〔Ｗ〕
(基本公差)		内径〔ＩＤ〕
(基本公差)		外径〔ＯＤ〕
(基本公差)		ｄＤ1Ｄ2ＧＨ
2.0
（±0.10）		31.0
（±0.15）		35.0
（±0.35）		31.5
（0/-0.05）		34.5
（+0.05/0）		35.0
（+0.05/0）		2.7
（+0.25/0）		1.5
（0/-0.10）
* 公差はNBR-70-1を基準にした基本値です。
材質の種類によって変動するのでご注意下さい。
* 溝寸法は参考値です。

その他

  • この商品「Oリング フロロパワーFFT S-31.5」は、製作品です。納期は数量等により変動する為、ご注文承諾時に改めてご連絡いたします。
  • この商品の大口／定期購入を検討されている場合は、別途ご相談下さい。
  • 当サイトに掲載されている使用範囲や性能データは、選定のヒントとして活用して頂く為の参考資料です。実際のご使用では様々な要素が複合的に関係することから、一般的な仕様が該当しない場合があります。製品の実運用に際しては、お客様ご自身で適合性を確認した上でご使用をお願いいたします。
  • 写真は、目安として色調などを確認して頂く為のイメージです。
  • 出荷時の梱包状態を維持して冷暗所で保管し、出来るだけ早めにご使用ください。
  • 名称については、以下のように呼ばれている場合もあります。
    フロロパワーFFT S31.5, フロロパワーFFT-S-31.5, FP-FFT-S31.5, フロロパワーＦＦＴ Ｓ３１．５, ＦＰ−ＦＦＴ Ｓ−３１．５, ｵｰﾘﾝｸﾞ, ﾌﾛﾛﾊﾟﾜｰFFT
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