Oリング フロロパワーFFR V-44 ＜線径φ4.0mm × 内径φ43.5mm＞

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Oリング フロロパワーFFR V-44の詳細

材質「フロロパワーFFR」について

概要

フロロパワーFFRは、O2ラジカルを含むプラズマ環境に向けて専用の設計が為されているFFKM材質の中でも中級グレードに位置し、主に半導体製造のドライプロセスに於いて採用されています。ラジカル化したプロセスガス（O2ラジカル、並びにCF4、NF3、HBr、CL2、NH3、SiH4などによるハロゲンラジカル）が齎す重量減少からのパーティクルを非常に高い水準で抑制することが可能で、優れた機械特性、及びFFKMとしては低帯電性であることと併せ、半導体製造に於けるエッチング装置、CVD装置のゲートバルブやアイソレーションバルブといった動的箇所での使用に適しています。尚、フロロパワーFFRはプラズマ専用FFKMの中で中級グレードに位置付けられておりますが、ラジカルに係る重量減少のみを基準としたグレード分類であって、先述の様な動的環境での働きでは上級グレードのフロロパワーFFTを凌ぎます。完全な下位代替となる下級グレードのフロロパワーFFDRとは異なり、部分的には上級グレードよりも優位な特性がある点も、お含みおき願います。また、パーフルオロエラストマー（FFKM）系統の材質には様々な細分類がラインナップされておりますが、その中でもフロロパワーFFRは半導体や液晶ディスプレイの製造といった電子産業に需要が集中する特定用途に特化したゴム材質となります。併せてご留意ください。

Oリング材質の耐性

FFKM（プラズマ専用；上級）→Oリング フロロパワーFFT V-44 ＜線径φ4.0mm × 内径φ43.5mm＞
FFKM（プラズマ専用；下級）→Oリング フロロパワーFFDR V-44 ＜線径φ4.0mm × 内径φ43.5mm＞
FFKM（標準白色）→Oリング フロロパワーFFW V-44 ＜線径φ4.0mm × 内径φ43.5mm＞
FFKM（耐熱白色）→Oリング フロロパワーFFSW V-44 ＜線径φ4.0mm × 内径φ43.5mm＞
FEPM（耐熱白色）→Oリング フロロパワーAPHW V-44 ＜線径φ4.0mm × 内径φ43.5mm＞
＊名称（規格名や通称）：フロロパワーFFR、FP-FFR
＊代表的な特性（優）：耐プラズマ性（酸素ラジカル／ハロゲンラジカル）；中級
＊　　　　　　（劣）：特定用途向け
＊使用温度範囲の目安：0〜230℃
＊含有物質等の法規制：環境負荷物質（RoHS指令10物質）；閾値以下
REACH規制対象物質（SVHC物質）；意図的添加なし
TSCA PBT5物質（DecaBDE、2,4,6-TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP）；意図的添加なし

サイズ「V-44」について

概要＊規　　格：Ｖ規格（真空フランジ用／JIS B2401 V／JIS B2290に関連）
＊呼び番号：４４
＊呼び替え：
寸法
[ｍｍ]		Oリングフランジ溝
線径〔Ｗ〕
(基本公差)		内径〔ＩＤ〕
(基本公差)		外径〔ＯＤ〕
(基本公差)		Ｇ1Ｇ2JIS フランジ
呼び径		ＧＳ
4.0
（±0.10）		43.5
（±0.49）		51.5
（±0.69）		44
（+1.0/0）		545.0
（+1.0/0）		3.0
（0/-0.20）
* 公差はNBR-70-1を基準にした基本値です。
材質の種類によって変動するのでご注意下さい。
* 溝寸法は参考値です。

その他

  • この商品「Oリング フロロパワーFFR V-44」は、製作品です。納期は数量等により変動する為、ご注文承諾時に改めてご連絡いたします。
  • この商品の大口／定期購入を検討されている場合は、別途ご相談下さい。
  • 当サイトに掲載されている使用範囲や性能データは、選定のヒントとして活用して頂く為の参考資料です。実際のご使用では様々な要素が複合的に関係することから、一般的な仕様が該当しない場合があります。製品の実運用に際しては、お客様ご自身で適合性を確認した上でご使用をお願いいたします。
  • 写真は、目安として色調などを確認して頂く為のイメージです。
  • 出荷時の梱包状態を維持して冷暗所で保管し、出来るだけ早めにご使用ください。
  • 名称については、以下のように呼ばれている場合もあります。
    フロロパワーFFR V44, フロロパワーFFR-V-44, FP-FFR-V44, フロロパワーＦＦＲ Ｖ４４, ＦＰ−ＦＦＲ Ｖ−４４, ｵｰﾘﾝｸﾞ, ﾌﾛﾛﾊﾟﾜｰFFR
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