材質「フロロパワーFFDR」について | ||||||||||||||||||||||
概要 | フロロパワーFFDRは、O2ラジカルを含むプラズマ環境に向けて専用の設計が為されているFFKM材質の中でも下級グレードに位置し、主に液晶ディスプレイ製造のドライプロセスに於いて採用されています。中級グレードであるフロロパワーFFRの廉価版に当たり、ラジカル化したプロセスガス(O2ラジカル、並びにCF4、NF3、HBr、CL2、NH3、SiH4などによるハロゲンラジカル)が齎す重量減少からのパーティクルを抑制する性能と良好な機械特性とを併せ持っていることから、ディスプレイ製造に於けるエッチング装置、CVD装置のゲートバルブやドアバルブなどに適しています。尚、パーフルオロエラストマー(FFKM)系統の材質には様々な細分類がラインナップされておりますが、その中でもフロロパワーFFDRは半導体や液晶ディスプレイの製造といった電子産業に需要が集中する特定用途に特化したゴム材質です。お含みおき下さい。 | |||||||||||||||||||||
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サイズ「N-55」について | |||||||
概要 | *規 格:N規格(真空フランジ用) *呼び番号:55 *呼び替え:NW-50 | ||||||
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寸法 [mm] | Oリング | フランジ溝 | |||||
線径〔W〕 (基本公差) | 内径〔ID〕 (基本公差) | 外径〔OD〕 (基本公差) | G1 | G2 | G | S | |
5.0 (±0.13) | 55.0 (±1.00) | 65.0 (±1.26) | 56 (+1.0/0) | 69 | 6.5 (+1.0/0) | 3.8 (0/-0.20) | |
![]() * 公差はNBR-70-1を基準にした基本値です。 材質の種類によって変動するのでご注意下さい。 | ![]() * 溝寸法は参考値です。 |
その他 |
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